美国TEM气体过滤器TEM-250-24用半导体制造
美国TEM气体过滤器TEM-250-24用半导体制造TEM-250-24过滤器应用•一般和工艺惰性设施气体。•关键工艺的清洁干燥空气(CDA*),包括前开口统一吊舱(FOUP)清洁和光刻。
美国TEM气体过滤器TEM-250-24用半导体制造
TEM-228-16 1.0“内螺纹NPT入口/出口640.1 mm(25.2")
TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm(25.1")
TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm(25.1")
TEM-260-DN50法兰(详见图纸)643.1 mm(25.32")
TEM-250-24过滤器应用
•一般和工艺惰性设施气体。
•关键工艺的清洁干燥空气(CDA*),包括前开口统一吊舱(FOUP)清洁和光刻。
TEM-250-24过滤器功能和优点
•电抛光外壳
过滤器组件具有15Ra电抛光316L不锈钢外壳,防止腐蚀和粒子在内表面上积聚。
•包装外清洁度
我们的GasPro™ 清洁TEM-200过滤器,并包装在无尘室内,不含有机物包装外、无颗粒和无化学品清洁度。最终组装已清除使用过滤氮气进行初始清洁。附加的预处理是可选的。
•多种配件选项,便于安装标准配件选项包括端面/垫片密封,压缩、对焊和NPT。特殊配件,包括三夹钳(三叶草)卫生和法兰类型,可根据要求提供。
•氦泄漏测试
所有装置均以1x10-9 atm cc/s的速度进行测试。
。该放就放了吧,该弃就弃了吧,该舍就舍了吧,该忘就忘了吧!当我们无法改变事实时,我们可以改变自己的想法,改变面对生活的态度,从而改变结局。当我们能接受已经发生的,改变能改变的,烦恼自然就会越来越少。"
HYLIK海历克张涛张经理今天给大家讲讲关于TEM过滤器TEM-250-32技术参数以及产品规格,目前没有现货额,订货周期10-12周左右,现在随着美元汇率增长价格会有所增长额,常用于半导体制造,太阳能制造行业,微电子行业广泛使用中。美国TEM气体过滤器TEM-250-24用半导体制造
GasPro™ TEM-200系列滤波器设计用于3 nm颗粒截留率高达200 scfm,且温度高达80?C(176F)。ePTFE膜(1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撑结构封闭在316L不锈钢外壳,具有出色的流动性和耐化学性。使用标准Vitono形圈(其他o形圈材料可在重新测试时获得)。
美国TEM-311-24过滤器参数:
我们的多孔ePTFE过滤器提供有效的颗粒滞留3 nm。
最高工作温度* 80°C(176°F)。 建议更换:在69C(156F)以上工作6个月。
最大工作压力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。
最大正向差压20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)
一般和工艺惰性设施气体,用于半导体,脂肪板显示和其他高纯度应用。 G酶用于关键的脂肪板工艺,包括衬底退火。 对于关键工艺,包括前开口统一吊舱(FOUP)清洗和光刻,采用稀薄干燥的空气。
TEM-200零件号和订购信息
零件号入口/出口配件过滤介质/外壳其他材料长度(L)
TEM-215-16 1.0“阳垫圈密封入口/出口
PTFE/316L不锈钢聚丙烯
氟橡胶®密封*658.4毫米(25.92英寸)